1、塞尺測量法
只需一套可隨身攜帶的塞尺就可隨時隨地進行平面度的粗測。目前很多工廠仍使用該方法進行檢測。由于其精度不高,常規(guī)最薄塞尺為10um,檢測效率較低,結(jié)果不夠全面,只能檢測零件邊緣。
2、液平面法
基于連通器工作原理,適合測量連續(xù)或不連續(xù)的大平面的平面度,但測量時間長,且對溫度敏感,僅適用于測量精度較低的平面。
3、激光平面干涉儀測量法
最典型的用法是平晶干涉法。但主要于測量光潔的小平面的測量,如千分頭測量面,量規(guī)的工作面,光學(xué)透鏡。
4、水平儀測量法
廣泛用于工件表面的直線度和平面度測量。測量精度高、穩(wěn)定性好、體積小、攜帶方便。但是用該方法測量時需要反復(fù)挪動儀器位置,記錄各測點的數(shù)據(jù),費時、費力,調(diào)整時間長,數(shù)據(jù)處理程序繁瑣。
5、打表測量法
典型應(yīng)用為平板測微儀及三坐標(biāo)儀,其中優(yōu)以三坐標(biāo)儀為應(yīng)用最廣泛。測量時指示器在待測樣品上移動,按選定的布點測取各測量點相對于測量基準(zhǔn)的數(shù)據(jù),再經(jīng)過數(shù)據(jù)處理評定出平面度誤差。但其效率較低,通常一個樣品需要幾分鐘,離15ppm的期望相差甚遠(yuǎn)。